★ 概述。
因为涡轮分子泵的级作业压力较低 (10-1 ～ 1Pa) ，当仅用机械泵做前级泵时违背机械泵的有用抽速规模，影响系统的抽气作用。此外，因为涡轮分子泵前级压力低，前级泵油和分子泵本身轴承润滑油的蒸气返流率影响了分子泵进口的清洗程度。在某些范畴中 ( 如半导体、等离子体刻蚀等 ) ，涡轮分子泵满足不了即要求高的本底真空，又需求在作业真空度规模内具有较大的抽速和杰出的清洗条件的需求。这些都要求进步涡轮分子泵的前级压力和较高进口压力下的抽速，以习惯更多范畴的需求。所以大家经过对涡轮分子泵和牵引分子泵的不断研讨改善，使用两种分子泵的各自长处，将两者联系，提出了复合分子泵。 70时代初，法国的 Alcatle 公司首先研制成功 MODEL 型复合式分子泵。关于复合分子泵，国内也进行了许多研讨。于 80 时代末及 90 时代初，中科院北京真空物理实验室和东北大学相继研制出涡轮一盘式复合分子泵和涡轮—筒式复合分子泵。
★ 复合式分子泵的构造特点
复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的长处于一体。泵在很宽的压力规模内 ((10-6 ～ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，大大进步了泵的出口压力。法国 Alcatle 公司出产的一种选用气体静压轴承和动密封的复合分子泵，能够做到完全无油，且不必前级泵直接向大气中排气。复合式分子泵的方法许多，按构造分，首先有两种：一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级首先用来进步泵的抽速，通常选用有利于进步抽速的叶片形状，级数在 l0 级以内。牵引级首先用来添加泵的压缩比，进步泵的出口压力。
盘式牵引级是在平板圆盘平面上按必定规则开出数条型线沟槽，然后将数块圆盘串接起来构成，型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。抽气时靠高速滚动的圆盘对气体分子进行“拖动”，使其沿沟槽作由内向外及由外向内的往复折回的定向活动，然后到达抽气目的。筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开必定断面形状的沟槽，如矩形、圆弧形、三角形及其它形状的多头螺旋槽。因为简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外外表或泵体内外表上，因而能够充分使用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递，进步泵的抽气作用。在规划制作中，能够经过改动螺旋沟槽通道与抽气方向之间的夹角 ( 螺旋升角 ) 来到达较抱负的抽气作用。
在复合分子泵的规划中，有必要处理好涡轮级与牵引级之间的应配和联接联系。因为涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种构造的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的活动方法俄然改变，使气体分子的运动在联接处由有序成为无序，至使返流添加，抽气才能降低。因而，在规划时应在涡轮级和牵引级变换处加上过渡级构造，以进步泵的抽气功能。随着复合分子泵的不断改善，其应用范畴越来越广，在某些抽气系统上能够代替分散泵，缩短了系统的抽气时刻，并可取得无油污染的清洗真空环境。
