波段极紫外成像光学仪器成像质量测验设备

要求（专利）号：CN200610163271.4要求日：2006.12.18
揭露（布告）号：CN101169349揭露（布告）日：2008.04.30
主分类号：G01M11/00(2006.01)I范畴分类：
分类号：G01M11/00(2006.01)I；G01M11/02(2006.01)I
要求（专利权）人：中国科学院长春光学精细机械与物理研究所
地址：130031吉林省长春市东南湖大道16号
国省代码：吉林；22
创造（规划）人：巩岩
专利署理组织：长春菁华专利商标署理事务所
署理人：南小平
★ 摘要
   本创造归于短波段成像光学范畴，详细的说是一种极紫外成像光学仪器成像质量测验设备。在本创造中规划了如图所表明的检查设备，全部光学系统均处于真空条件下，极紫外光源1宣布极紫外光束通过精细描写的金属栅网7后，打到反射镜3和4，最终通过待测极紫外成像光学系统5在极紫外相机6上成像，金属栅网的网格标准与所成的像进行对比，通过核算即可得到待测光学系统的分辨率数据。本创造的有利作用为：供给了一种构造简略、功能牢靠可以对极紫外成像光学仪器成像质量进行测验的设备。
★ 主权项
    一种6nm-100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测验设备，光源(1)发生的平行光通过辨别率板(2)后经反射镜(3)和(4)，最终通过待检成像系统(5)在探测器(6)上成像，依据所成印象中辨别率板的线对的明晰程度，通过核算既可得到待检成像光学系统的分辨率数据，其特征是：所述辨别率板(2)是精细描写的金属栅网(7)。